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研究設備
曝光機(Mask Aligner)
金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)
高溫爐管(爐管)
氣相層析儀(GC)(Gas Chromatography)
恆電位儀 Autolab
可變光強度光源系統(氙氣光源)
單光儀+CCD偵測器
半導體元件參數分析儀(B1500)
電子束蒸鍍機(E-gun)
電子束蒸鍍機(E-gun)
桌上型掃描式電子顯微鏡
可變光強度之太陽光模擬器(Solar Simulator)
磁控濺射鍍膜系統(Sputter)
光學顯微鏡
變溫探測工作台(Lakeshore TTPX Cryogenic Probe Station)
高溫爐(Oven)
液相色譜層析儀(Liquid Chromatography)
電漿輔助化學氣相沉積(Samco PECVD)
LED I-V-L量測系統